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管路管道加熱帶加熱夾克系統(tǒng)工程-管路加熱系統(tǒng)-加熱帶-熱電偶-德易力科技股份有限公司

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管路加熱系統(tǒng)

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管路管道加熱帶加熱夾克系統(tǒng)工程

加熱夾克又稱為包覆式加熱器。加熱夾克是用來維持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中所使用的真空管路、氣體管路中的溫度。當(dāng)氣體管路中的溫度維持於一定範(fàn)圍內(nèi)時,製程所產(chǎn)生的生成物將不易沉積或堵塞於管路中,因而可以減少機臺的保養(yǎng)次數(shù),同時可以延長相關(guān)設(shè)備的壽命。加熱夾克半導(dǎo)體製程中,扮演著不可或缺的角色。WCVD Process,Metal Etch Process,LP-CVD Nitride Process這種極容易產(chǎn)生化學(xué)生成物的製程中,更是需要加熱帶來解決管路阻塞問題。

●材質(zhì)特性
採用防火
(不助燃)材質(zhì)Glass Fiber Cloth Coated PTFE(鐵氟龍)布材
布料耐熱溫度高達
400度。素材自國外進口,本國加工製造。
長時間高溫使用亦不會硬化或粉化。
●成品樣式
備有各種厚度與尺寸素材。
可依客戶需要製作各種樣式。
●提供快速即時之服務(wù)
可依客戶需要,提供特殊設(shè)計之製造。
免除進口與報關(guān)的長時間等待,優(yōu)越的產(chǎn)品,臺灣也可以取得。

●各大廠實績豐富
tsmc UMC 、 MXIC 、 PSC 、 SMIC XMC 、睿力集成、聯(lián)芯集成、華邦電子、英特爾、 友達光電、 超視堺